Профилометр со щупом: сверхточный контактный измерительный прибор для измерения поверхности
Принцип работы
Профилометр со щупом работает за счёт прямого физического контакта алмазного зонда с поверхностью образца. При перемещении щупа по поверхности микроскопические выступы и впадины вызывают вертикальные смещения, которые преобразуются датчиками в электрические сигналы. Эти сигналы обрабатываются измерительными мостами, усиливаются, фазочувствительно выпрямляются и фильтруются для получения медленно меняющегося выходного сигнала, пропорционального перемещению щупа, тем самым восстанавливая рельеф поверхности.
Характеристики инструмента
1. Высокая точность
Вертикальное разрешение менее ангстрема (≤0,1 нм)
Измеряет изменения высоты в масштабах от микрометра до нанометра
Собирает комплексные данные: рельеф, неровности, волнистость
2. Исключительная стабильность
Высокая повторяемость (σ < 0,5% при шаге 1 мкм)
Воспроизводимые измерения для тонких топографических деталей
3. Удобное управление
Дополнительная навигационная система с цветным зрением
Технология магнитного зонда для быстрой замены наконечника (<30 сек)
Функция автоматического выравнивания и интуитивно понятное программное обеспечение с калибровочными модулями
4. Многофункциональные возможности
Измеряет высоту ступеньки, толщину пленки, шероховатость, напряжение и т. д.
Поддерживает многозонный и 3D-режимы сканирования
Интегрированный статистический анализ СПЦ (например, расчеты КП/Кпк)
Области применения
Полупроводниковая промышленность
Измерение высоты ступенек в тонкой пленке (слои ПВД/сердечно-сосудистые заболевания)
Характеристика профиля фоторезиста
Количественная оценка скорости травления
Мониторинг ХМП (химико-механической полировки)
Фотоэлектрические системы
Анализ толщины покрытия солнечных элементов
Измерение высоты ступеньки после травления
Оптимизация производительности перовскитных/CIGS-ячеек
