40px
80px
80px
80px
Lecheng Intelligence Technology (Suzhou) Co., Ltd.
Электронная почта
sale@lcintel.comТелефон
+86-17751173582
Lecheng Intelligence Technology (Suzhou) Co., Ltd.
Электронная почта
sale@lcintel.comТелефон
+86-17751173582Система лазерного отжига пластин имеет модульную конструкцию с настраиваемыми лазерными источниками (308 нм/532 нм/1064 нм) и высокоточным подвижным столиком на воздушных подшипниках (точность позиционирования ±1 мкм). Компактная система размером 2 × 2 м, подходящая для чистых помещений, включает в себя мониторинг температуры в режиме реального времени и автоматическую регулировку фокуса для обеспечения постоянного контроля процесса.

Прецизионный отжиг: регулируемая плотность энергии 0,1–5 Дж/см² с регулировкой температуры ±1 °C
Высокая пропускная способность: обрабатывает 100–500 сайтов в секунду (в 100 раз быстрее, чем РТП)
Избирательная обработка: обеспечивает отжиг на уровне одного транзистора
Нетермическое повреждение: сверхкороткий импульс предотвращает нагрев подложки
Умный Контроль: оптимизация параметров и обнаружение дефектов на основе ИИ
Передовой Логика Устройства: отжиг истока/стока для узлов 7 нм/5 нм
3D NAND Вспышка: отжиг контактов для вертикальных структур памяти
Силовые приборы: отжиг SiC/GaN для повышения мобильности
Производство СНГ: повышение производительности на уровне пикселей
Усовершенствованная упаковка: отжиг межсоединений для 2,5D/3D ИС
Ключевые данные о производительности:
Параметр | Спецификация |
|---|---|
Размер пластины | 4-12 дюймов |
Длина волны | 308/532/1064 нм на выбор |
Плотность энергии | 0,1-5 Дж/см² |
Точность позиционирования | ±1 мкм |
Пропускная способность | 100-500 сайтов/сек |
Контроль температуры | ±1℃ |
Расширенные возможности управления технологическим процессом системы делают ее идеальным решением для производства полупроводников следующего поколения, обеспечивая превосходную производительность устройств при сохранении высокой производительности и выхода годных изделий.
Сверхточный лазерный перенос для микросветодиодных матриц. Высокоскоростное массовое производство с микронной точностью. Бесконтактный процесс гарантирует отсутствие повреждений. Модульная конструкция для гибкого масштабирования производства.
БолееВысокоточная лазерная наплавка для долговечного ремонта металла. Экологичный процесс сокращает отходы и потребление энергии. Автоматизированный контроль обеспечивает получение покрытий стабильно высокого качества. Мировая промышленность доверяет нам точность и надежность.
БолееПрецизионная сварка для производства высокоэффективных аккумуляторов для электромобилей. Полностью автоматизированная система повышает скорость и сокращает количество дефектов. Прочная конструкция обеспечивает стабильную и долгосрочную производительность производства. Индивидуальные решения для различных типов и размеров аккумуляторов.
БолееЭкологичная лазерная очистка заменяет химическую обработку. Точная очистка без повреждения базовых материалов. Легкая конструкция обеспечивает удобство эксплуатации в любом месте. Низкие эксплуатационные расходы и долговечный волоконный лазерный источник.
БолееМетод точной лазерной плавки позволяет изготавливать сложные металлические детали слой за слоем. Замкнутый контур управления обеспечивает стабильно высокое качество деталей. Возможность обработки различных материалов: титана, стали и сплавов.
БолееОдновременное управление по 5 осям позволяет выполнять сложную трехмерную обработку деталей. Интегрированный поворотный стол обрабатывает большие криволинейные поверхности. Интеллектуальная система предотвращения столкновений обеспечивает бесперебойное производство.
Более40px
80px
80px
80px
Lecheng Intelligence Technology (Suzhou) Co., Ltd.
Электронная почта
sale@lcintel.comТелефон
+86-17751173582