Система лазерной нарезки слитков карбида кремния

Структурные особенности

1. Мощная сверхбыстрая лазерная система: использует пикосекундные/фемтосекундные импульсные лазеры для минимизации зон термического воздействия (ЗТВ) и повреждений материала.

2. Прецизионный подвижный стол: оснащен системами линейного привода, обеспечивающими точность позиционирования ±1 мкм для стабильных и постоянных траекторий резки.

3. Адаптивная оптическая фокусировка: динамически регулирует фокусные точки лазера для обработки слитков различной толщины, обеспечивая оптимальное качество резки.

4. Мониторинг и обратная связь в реальном времени: интегрированные системы визуального выравнивания с помощью ПЗС-матриц и лазерного дальномера обеспечивают управление технологическим процессом в режиме реального времени с автоматической настройкой параметров.

5. Модульная конструкция: поддерживает многопозиционные конфигурации, совместима с слитками диаметром 4, 6 и 8 дюймов, что обеспечивает повышенную гибкость.

Технические преимущества

1. Низкий уровень отходов материала: бесконтактная лазерная резка обеспечивает ширину пропила 20–50 мкм, что повышает выход годного материала более чем на 30%.

2. Высокая производительность: в 5–10 раз быстрее, чем алмазные проволочные пилы, что сокращает время обработки одного слитка до <2 часов.

3. Превосходное качество поверхности: шероховатость поверхности после обработки (Ra) <0,5 мкм, что минимизирует этапы последующей полировки и затраты.

4. Экологичность: исключает загрязнение рабочей жидкостью и снижает энергопотребление на 40%, что соответствует принципам устойчивого производства.

Типичные области применения

1. Силовые устройства на основе SiC: идеально подходят для изготовления MOSFET-транзисторов, SBD-транзисторов и другой силовой электроники на кремниевых пластинах.

2. Радиочастотные компоненты: Обеспечивают точную нарезку пластин GaN-on-SiC в базовых станциях 5G и системах спутниковой связи.

3. Транспортные средства на новых источниках энергии: Поддерживает производство кремниево-карбидных пластин для инверторов электромобилей, модулей бортовых зарядных устройств и других важных компонентов.

Технические характеристики являются ориентировочными — всё оборудование полностью настраивается под ваши потребности!