Продукты

Рекомендуемые продукты

связаться с нами

  • Система лазерного отжига пластин
  • Система лазерного отжига пластин
  • Система лазерного отжига пластин
  • video

Система лазерного отжига пластин

Сверхточный лазерный отжиг для современного производства микросхем. Равномерное распределение энергии обеспечивает равномерную обработку пластин. Бесконтактный процесс предотвращает повреждение поверхности полупроводника. Автоматическая калибровка адаптируется к различным спецификациям пластин.
  • Le Cheng
  • Шанхай
  • Три месяца
  • Пятьдесят комплектов в течение года

Конструктивные особенности

Система лазерного отжига пластин имеет модульную конструкцию с настраиваемыми лазерными источниками (308 нм/532 нм/1064 нм) и высокоточным подвижным столиком на воздушных подшипниках (точность позиционирования ±1 мкм). Компактная система размером 2 × 2 м, подходящая для чистых помещений, включает в себя мониторинг температуры в режиме реального времени и автоматическую регулировку фокуса для обеспечения постоянного контроля процесса.

Wafer Laser Annealing System

Технические преимущества

  • Прецизионный отжиг: регулируемая плотность энергии 0,1–5 Дж/см² с регулировкой температуры ±1 °C

  • Высокая пропускная способность: обрабатывает 100–500 сайтов в секунду (в 100 раз быстрее, чем РТП)

  • Избирательная обработка: обеспечивает отжиг на уровне одного транзистора

  • Нетермическое повреждение: сверхкороткий импульс предотвращает нагрев подложки

  • Умный Контроль: оптимизация параметров и обнаружение дефектов на основе ИИ

Типичные применения

  • Передовой Логика Устройства: отжиг истока/стока для узлов 7 нм/5 нм

  • 3D NAND Вспышка: отжиг контактов для вертикальных структур памяти

  • Силовые приборы: отжиг SiC/GaN для повышения мобильности

  • Производство СНГ: повышение производительности на уровне пикселей

  • Усовершенствованная упаковка: отжиг межсоединений для 2,5D/3D ИС

Ключевые данные о производительности:

Параметр

Спецификация

Размер пластины

4-12 дюймов

Длина волны

308/532/1064 нм на выбор

Плотность энергии

0,1-5 Дж/см²

Точность позиционирования

±1 мкм

Пропускная способность

100-500 сайтов/сек

Контроль температуры

±1℃

Расширенные возможности управления технологическим процессом системы делают ее идеальным решением для производства полупроводников следующего поколения, обеспечивая превосходную производительность устройств при сохранении высокой производительности и выхода годных изделий.

Характеристики приведены только в качестве ориентировочных. Все оборудование полностью настраивается в соответствии с вашими потребностями!

  • Сколько времени проходит от заказа оборудования до официального производства при сотрудничестве с Локсен?

    Общие сроки варьируются в зависимости от характеристик оборудования и масштаба производственной линии. Для стандартных моделей, предназначенных для отдельного оборудования, требуется 45-дневный цикл производства, а общая продолжительность (включая доставку и установку) составляет около 60 дней. Для оборудования, изготовленного по индивидуальному заказу, требуется дополнительно 30 дней в зависимости от технических требований. Для комплексных линейных решений: • Для производственных линий мощностью 100 МВт требуется около 4 месяцев на планирование, изготовление оборудования, монтаж и ввод в эксплуатацию. • Производственные линии уровня ГВ требуют около 8 месяцев Мы предоставляем подробные графики проектов с выделенными менеджерами, обеспечивающими бесперебойную координацию. Пример: линия по производству перовскита мощностью 1 ГВт для клиента была завершена на 15 дней раньше срока благодаря параллельному производству оборудования и строительству объекта.
  • Предлагает ли Локсен подходящее оборудование и партнерские решения для стартапов в сфере перовскита?

    Локсен предлагает «Программу поэтапного партнерства», специально разработанную для стартапов в области перовскита. На начальном этапе НИОКР мы поставляем компактное опытно-промышленное оборудование (например, системы лазерной разметки мощностью 10 МВт) в комплекте с необходимыми технологическими пакетами для упрощения проверки технологии и итерации продукта. На этапах масштабирования стартапы имеют право на получение преимуществ при модернизации: • Основные модули пилотного оборудования можно обменять на оборудование производственной линии с вычетом стоимости • Дополнительное техническое сотрудничество, включая поддержку разработки процесса и обмен экспериментальными данными Эта программа успешно позволила нескольким стартапам плавно перейти от лабораторного этапа к опытному производству, одновременно снизив инвестиционные риски на раннем этапе.
  • Может ли оборудование Локсен работать с перовскитными солнечными элементами разных размеров? Какой максимальный поддерживаемый размер?

    Лазерное оборудование Локсен отличается исключительной совместимостью размеров и способно обрабатывать перовскитные солнечные элементы размером от 10 см × 10 см до 2,4 м × 1,2 м. Для обработки ячеек большого размера (например, жестких подложек размером 12 м × 2,4 м) мы предлагаем индивидуальные лазерные системы портального типа с синхронизацией нескольких лазерных головок, что обеспечивает как точность, так и производительность. • Доказанная производительность: успешно обработаны ячейки размером 1,2 м × 0,6 м с лучшей в отрасли точностью скрайбирования (±15 мкм) и однородностью (>98%) • Модульная конструкция: сменные оптические модули адаптируются к различной толщине (0,1–6 мм) • Интеллектуальная калибровка: выравнивание луча в реальном времени с помощью ИИ компенсирует деформацию подложки
  • Предлагает ли Локсен индивидуальные лазерные решения для всех ключевых этапов производства перовскитных солнечных элементов?

    Да, компания Локсен предлагает комплексные решения по лазерной обработке, охватывающие всю цепочку производства перовскитных солнечных элементов: Лазерная маркировка P0: для идентификации ячеек после нанесения пленки Лазерная гравировка P1/P2/P3: точное нанесение рисунка • Прозрачные проводящие слои (P1) • Активные слои перовскита (P2) • Задние электроды (P3) Изоляция кромок P4: микронная обрезка кромок для предотвращения короткого замыкания Модули тандемных ячеек: специализированные системы лазерного травления для обработки слоев нескольких материалов Наша интегрированная экосистема оборудования обеспечивает выполнение всех требований к лазерной обработке с помощью: • Точность совмещения слоев ≤20 мкм • Зона термического воздействия контролируется менее чем 5 мкм • Модульные платформы, поддерживающие НИОКР для производства в масштабах ГВт
  • Какие диапазоны допуска состава поддерживают инструменты Локсен для различных формул перовскита?

    Лазерные системы Локсен демонстрируют исключительную адаптируемость к различным составам перовскита. • Предварительно загруженные параметры: оптимизированные настройки для основных составов (например, ФАПби₃, CsPbI₃) в библиотеке рецептов лазера обеспечивают мгновенный доступ оператора. • Поддержка НИОКР: для новых составов (например, перовскитов на основе Сн) наша команда обеспечивает: индивидуальную калибровку длины волны/плотности потока в течение 72 часов. Проверка производительности, гарантирующая<1% PCE degradation post-processing • Smart Compensation: On-board spectroscopy modules monitor reflectivity in real-time, automatically adjusting: Pulse duration (20-500ns) Beam profile (Top-hat/Gaussian) Energy density (0.5-3J/cm²) Technical Highlights: ▸ Tolerance for ±15% stoichiometric variation in Pb:Sn ratios ▸ Support for 2D/3D hybrid phase patterning ▸ Non-contact processing avoids cross-contamination

сопутствующие товары

  • Удаление края лазерного луча P4 для перовскитных солнечных элементов
    Удаление края лазерного луча P4 для перовскитных солнечных элементов
    Компания Леченг Разумный предлагает стабильное решение для удаления краев перовскитных солнечных элементов с помощью лазера P4, помогая клиентам добиться более чистой изоляции краев, лучшей совместимости с инкапсуляцией и повышенной надежности модулей. На этой странице представлен подход Леченг к обработке перовскитными фотоэлектрическими элементами с помощью лазера P4, с особым акцентом на качество краев, контроль мертвых зон и стабильность, ориентированную на производство.
    Более
  • Лазерная гравировка P3 для перовскитных солнечных элементов
    Лазерная гравировка P3 для перовскитных солнечных элементов
    Компания Леченг предлагает решения для лазерной гравировки P3 для перовскитных солнечных элементов, что помогает обеспечить чистую изоляцию элементов, стабильное качество линии и лучшую интеграцию модулей. Подходит для лабораторных исследований, пилотных линий и масштабируемого производства фотоэлектрических элементов.
    Более
  • Лазерная гравировка P2 для перовскитных солнечных элементов
    Лазерная гравировка P2 для перовскитных солнечных элементов
    Если вы хотите изучить более широкую инженерную логику интеграции P1, P2, P3 и P4, а также полную конфигурацию линии, посетите нашу соответствующую страницу, посвященную производственной линии перовскитных лазеров. Эта внутренняя статья помогает повысить актуальность темы, касающейся лазерной гравировки P2 для перовскитных солнечных элементов, обработки перовскитных лазеров и решений для пилотных линий по производству перовскитов.
    Более
  • Лазерная гравировка P1 для перовскитных солнечных элементов
    Лазерная гравировка P1 для перовскитных солнечных элементов
    Компания Леченг Разумный предлагает стабильное решение для лазерной гравировки P1 в перовскитных солнечных элементах, помогая клиентам добиться чистой изоляции проводящего слоя, лучшей стабильности линий и большей технологической совместимости для лабораторных исследований, пилотных линий и масштабируемого производства. На этой странице с описанием кейса показано, как Леченг подходит к лазерной гравировке на ранних стадиях производства перовскитных фотоэлектрических элементов, уделяя особое внимание точности, защите подложки и непрерывности процесса на последующих этапах.
    Более
  • Решения АМ0 для солнечного симулятора
    Решения АМ0 для солнечного симулятора
    Высокоточные решения для моделирования солнечной энергии АМ0, предназначенные для тестирования космических фотоэлектрических систем, исследований перовскитных солнечных элементов, спектральной оценки и проверки характеристик современных солнечных устройств. Компания Леченг Разумный предлагает ориентированные на технологические процессы решения для моделирования солнечного излучения АМ0, предназначенные для клиентов, которым требуется нечто большее, чем просто базовое осветительное оборудование. Наше решение разработано с учетом спектральной точности, равномерности облучения, временной стабильности, оптического формирования и гибких режимов тестирования, помогая исследовательским группам и производителям создавать более надежную платформу для тестирования солнечных элементов в космосе, тестирования перовскитных фотоэлектрических элементов и оценки передовых фотоэлектрических устройств.
    Более

40px

80px

80px

80px

Получить цену